分类:
1. 切片+显微观察(光学显微镜OM、扫描电镜SEM、透射电镜TEM)
2. 材料力学/电学/热学/化学性能分析
3. 表面微区分析
4. 异物/污染分析
5. 成分分析
6. 材料老化及可靠性分析
表面材料分析手段 :
1. AES 俄歇电子能谱仪应用
2. AFM 原子力显微镜应用
3. EELS 电子能量损失分析仪应用
4. FT-IR 傅立叶红外显微镜应用
5. SEM/EDS 扫描电子显微镜/X射线能谱仪应用
6. SIMS 二次离子能谱仪(特殊定点/非定点制样、元素分析)
7. TEM 透射电镜(定点/非定点制样及上机观察)
8. TOF-SIMS 飞行时间二次离子质谱应用
9. XPS X射线光电子能谱仪应用
